五月天亚洲视频,欧美精品九九99久久,91久久久久久久久久久久久久久久,成人在线免费观看av,天天干国产,特级特黄aaaa免费看,91五月婷蜜桃综合

導輪對太陽能晶體硅切割質(zhì)量的影響(圖)

來源:網(wǎng)絡

點擊:799

A+ A-

所屬頻道:新聞中心

關鍵詞: 導輪,太陽能晶體硅切割,硅片切割

      摘要:太陽能硅片切割過程中,導輪是很重要的易磨損部件。切片過程中,伴隨工作臺的緩慢下降,鋼線攜帶砂漿在導輪槽內(nèi)高速運轉(zhuǎn),對硅塊起到切割作用。導輪的涂層、槽型、槽深及角度等對切割質(zhì)量起到關鍵作用。本文主要論述導輪對太陽能晶體硅切割質(zhì)量的影響。

      0 引言

      導輪是線鋸機床中負責繞線的輪體,內(nèi)部為鋼制,外面敷設一層聚氨酯,其轉(zhuǎn)動靠兩端軸承及其中間穿過的絲杠動作。導輪經(jīng)開槽機開槽后方可使用,這些槽精細且分布均勻。導輪的涂層、槽型、軸瓦及導輪跳動都會對切割質(zhì)量產(chǎn)生重要影響。

      1 導輪涂層

      導輪涂層的材料是聚氨酯,不同廠家的涂層硬度、耐磨性都不同,導致導輪使用壽命及切割中導輪槽型變化程度也不一致。

      2 槽型

      目前線鋸機床常使用的導輪槽型為V型槽,角度為40°- 80°,槽深為180μm-250μm,但由于V型槽底部尺寸不易控制且形狀不規(guī)則,開始時鋼線不能到達槽底部,而是卡在中間,切割過程中,隨著鋼線在槽內(nèi)高速運轉(zhuǎn),由于摩擦作用,導輪槽底部磨損較快。當鋼線在V型槽內(nèi)運轉(zhuǎn)時,鋼線也易在槽內(nèi)左右晃動,鋼線跳動嚴重時,甚至跳出所在V型槽內(nèi)到另外一個V型槽內(nèi),造成張力不穩(wěn),切割出不合格的硅片,例如厚度偏差片、TTV超差片及鋸痕不合格片。由于V型槽導輪槽磨損較快,使用壽命較短,需要經(jīng)常更換導輪,這會影響產(chǎn)能。

      目前有一種新槽型是將圖1所示的V型槽變?yōu)閳D2所示的U型槽,槽底部圓弧半徑值為切割用鋼線的半徑值,槽的兩側(cè)壁仍為V型。由于在切割過程中鋼線會磨損,因此在導輪入線口與出線口位置的鋼線直徑不同(視切割的硅塊長度不同,約相差8-15μm,),需根據(jù)鋼線的磨損情況進行圓弧半徑值的補償,例如,鋼線初始直徑為130μm,切割至出線口時線損10μm,則出線口導輪直徑為120μm,而入線口與出線口之間的導輪槽底部半徑值則需要進行分段補償。這樣,導輪槽的底部直徑與鋼線的直徑相吻合,因此鋼線在槽內(nèi)高速運轉(zhuǎn)時較穩(wěn)定,不會出現(xiàn)鋼線左右移動的情況,切出的硅片外觀質(zhì)量良好,不會出現(xiàn)鋸痕或TTV超差片,提高了產(chǎn)品質(zhì)量。與此槽型相匹配的兩側(cè)壁夾角范圍為45°-60°,槽深為180μm-200μm,角度與槽深的關系為:角度越小則槽深越深。當鋼線在新型槽內(nèi)傳動時,導輪槽磨損程度減小,延長了導輪的使用壽命,避免頻繁更換導輪,提高了工作效率。

      輪廓儀檢測的V型槽導輪槽型圖

    輪廓儀檢測的V型槽導輪槽型圖

      輪廓儀檢測的U型槽導輪槽型圖

    輪廓儀檢測的U型槽導輪槽型圖

    V行槽與U型槽切割質(zhì)量對比

      V行槽與U型槽切割質(zhì)量對比

      通過對比可以看出,U型槽導輪使用壽命明顯高于V型槽導輪,且切割質(zhì)量得到了提高和改善。

      3 導輪軸瓦

      由于導輪在切割過程中高速轉(zhuǎn)動以及在換導輪過程中會造成導輪軸瓦的磨損,這樣容易導致導輪轉(zhuǎn)動時震動,導致TTV片的出現(xiàn)。因此導輪軸瓦磨損后需要及時更換。

      4 導輪跳動

      導輪跳動會影響鋼線張力,若導輪跳動大則容易產(chǎn)生TTV超差片和鋸痕不合格片,因此每次更換導輪后,需要使用千分表測量導輪跳動情況,使其滿足標準規(guī)定的要求。

      參考文獻

      [1] 王文斌.機械設計手冊[M].北京:機械工業(yè)出版社,2008

      [2] 李保軍.硅單晶錠多線切割中砂漿作用的研究[J].半導體技術(shù),2007,32(6).

      [3] 鄭遠謀.爆炸焊接和金屬復合材料及其工程應用[M].長沙:中南大學出版社,2002.
     

    (審核編輯: 智匯張瑜)

    聲明:除特別說明之外,新聞內(nèi)容及圖片均來自網(wǎng)絡及各大主流媒體。版權(quán)歸原作者所有。如認為內(nèi)容侵權(quán),請聯(lián)系我們刪除。